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先需要檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍，需要認(rèn)真研究確定之。
在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的真空度決定了系統(tǒng)的佳工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)需要考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。z
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